氦質(zhì)譜檢漏儀是一種基于質(zhì)譜原理的檢漏儀器，由真空系統(tǒng)、氦氣充填系統(tǒng)、氣體采樣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。檢測(cè)時(shí)，將被測(cè)物體置于真空室內(nèi)，使其內(nèi)部達(dá)到所需真空度后，使用氦氣充填系統(tǒng)向被測(cè)物體外部充填氦氣，并通過(guò)氣體采樣系統(tǒng)將被測(cè)物體周?chē)h(huán)境中的氦氣吸入系統(tǒng)內(nèi)部。在采集過(guò)程中，加熱系統(tǒng)會(huì)對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行加熱處理，以促進(jìn)任何潛在泄漏點(diǎn)的放大和釋放氦氣。采集到的氦氣進(jìn)入真空室內(nèi)的質(zhì)譜儀中進(jìn)行分析，通過(guò)檢測(cè)氦氣分子的質(zhì)量/電荷比，來(lái)確定被測(cè)物體是否存在泄漏。