機(jī)械渦輪分子泵是一種高效的真空泵，其利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。在電機(jī)的帶動下，渦輪分子泵高速旋轉(zhuǎn)，動葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動的速度（一般為150~400米/秒）。在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)動的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面運(yùn)動方向上產(chǎn)生定向流動而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。

　　機(jī)械渦輪分子泵的主要特點(diǎn)：

　　1、啟動快：機(jī)械渦輪分子泵能夠快速啟動并達(dá)到工作狀態(tài)。

　　2、抗輻射能力強(qiáng)：這種泵能承受各種射線的照射而不損壞。

　　3、耐大氣沖擊：機(jī)械渦輪分子泵具有良好的耐大氣沖擊能力。

　　4、無污染：由于其設(shè)計(jì)原理，渦輪分子泵在工作時(shí)不會產(chǎn)生油蒸氣污染，因此可以獲得清潔的超高真空環(huán)境。

　　5、高壓縮比：渦輪分子泵對不同種類的氣體有不同的壓縮比，例如對氮?dú)饣蚩諝獾膲嚎s比為108～109，對氫氣為102～104，而對于分子量大的氣體如油蒸氣，壓縮比則大于1010。

　　6、極限壓力低：該泵的極限壓力極低，可達(dá)10-9帕。

　　7、工作壓力范圍寬：機(jī)械渦輪分子泵的工作壓力范圍從10-1至10-8帕。

　　8、抽氣速率高：其抽氣速率可以從幾十升每秒到幾千升每秒（1升=10-3米3）。