普發(fā)渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。優(yōu)點(diǎn)是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

　　渦輪分子泵的軸承由有油潤滑的滾動軸承和滑動軸承向完q非接觸式的空氣軸承和磁軸承方向發(fā)展。轉(zhuǎn)子的抽氣單元有渦輪葉片、盤式葉片和牽引式螺旋槽結(jié)構(gòu)。而且動、靜葉片間的間隙很小，葉片很長剛性差。由于操作錯誤，突暴大氣到泵中，使葉片損壞，因?yàn)槭艽髿庳?fù)載和離心力的作用開始彎曲振動，超過動、靜葉片的間隙將會發(fā)生葉片相碰損壞事故。因而，高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子系統(tǒng)遭到破壞時(shí)有發(fā)生，所以關(guān)于渦輪分子泵的安全使用問題，曾引起過渦輪分子泵的設(shè)計(jì)者和操作者的重視和研究，以使渦輪分子泵順利推廣應(yīng)用與安全運(yùn)行。

　　普發(fā)渦輪分子泵的使用要點(diǎn)：

　　1、不能在前級泵工作時(shí)(前級管路接通)和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)將渦輪分子泵停掉，否則將會使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵的清潔端。

　　2、分子泵系統(tǒng)在停機(jī)充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進(jìn)行充氣。

　　3、選擇系統(tǒng)前級泵的大小時(shí)，應(yīng)使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態(tài)下。

　　4、不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運(yùn)行。

　　5、分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護(hù)網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。