氦質(zhì)譜檢漏儀是一種常用于檢測(cè)真空系統(tǒng)或密封容器中泄漏的高精度儀器。它利用氦氣分子的小尺寸和低豐度，通過(guò)注入少量氦氣并檢測(cè)溢出的氦氣分子來(lái)定位泄漏源。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀的主要組成部分包括一個(gè)泵、一個(gè)注氦單元、一個(gè)離子化室、一個(gè)質(zhì)譜分析器和一個(gè)檢測(cè)器。在操作時(shí)，首先將氦氣注入被檢測(cè)系統(tǒng)中，然后利用泵將系統(tǒng)抽真空，這樣如果有泄漏存在，氦氣分子會(huì)從泄漏口進(jìn)入檢漏儀，并在離子化室中被電離。電離后的氦分子帶電荷進(jìn)入質(zhì)譜分析器，通過(guò)分析不同帶電荷的氦分子的質(zhì)量來(lái)確定泄漏的位置和大小。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀具有很高的檢測(cè)靈敏度，能夠檢測(cè)到非常小的泄漏。同時(shí)，它也可以檢測(cè)各種類(lèi)型的氣體和蒸汽泄漏，不受測(cè)試環(huán)境中的其他氣體影響。由于其高精度和可靠性，氦質(zhì)譜檢漏儀被廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車(chē)、制藥、半導(dǎo)體等各個(gè)領(lǐng)域。

　　是在真空條件下對(duì)泄漏探測(cè)和密封性檢驗(yàn)的理想解決方案。示蹤氣體氦氣是安全的、小而輕的分子，適合于探測(cè)小的泄漏。在真空檢驗(yàn)情況下，氦氣的檢測(cè)范圍在10-2和10-13Pa·m3/s之間。氦氣檢漏儀的泄漏檢測(cè)是極精準(zhǔn)、定量并且可重復(fù)的。節(jié)拍時(shí)間短也是一大優(yōu)勢(shì)。

　　總的來(lái)說(shuō)，氦質(zhì)譜檢漏儀是一種高精度、可靠的泄漏檢測(cè)儀器，在許多行業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。雖然其使用成本較高，但由于其能夠檢測(cè)到非常小的泄漏并提供精確的泄漏位置信息，因此仍然是許多企業(yè)選擇的s選檢漏工具。