普發(fā)渦輪分子泵是一種高真空泵，它采用渦輪葉輪的旋轉(zhuǎn)來產(chǎn)生氣體的吸入和排出。它在科學(xué)研究、半導(dǎo)體制造、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。其工作原理基于分子動量傳遞和離心力。當(dāng)渦輪葉輪高速旋轉(zhuǎn)時，氣體分子受到離心力的作用，從進口處進入葉片間隙，并在葉片之間碰撞和擴散。由于葉片的形狀和排列，氣體分子在葉片間形成螺旋狀流動，逐漸增加速度和動能。最終，氣體分子被抽取到渦輪葉輪的出口處，并排入真空系統(tǒng)中。

　　在操作普發(fā)渦輪分子泵時，需要格外注意以下幾個關(guān)鍵事項：

　　1、前級真空壓力

　　對于帶有額外壓縮級的渦輪分子泵，其前真空壓力可以上升至30 hPa以上。而帶有純渦輪級的泵，最大前真空壓力為2-3 hPa，超過此值可能導(dǎo)致泵過熱甚至損壞。

　　2、標注排氣管道尺寸

　　安裝排氣管道和閥門時，應(yīng)至少按照泵的標稱尺寸進行，以避免流導(dǎo)值不良導(dǎo)致的抽速顯著下降。例如，直徑和長度不符合要求的進氣管會導(dǎo)致電導(dǎo)值損失，嚴重影響有效抽速。

　　3、高真空和前真空連接

　　如果渦輪分子泵的高真空法蘭連接至接受器，前級管道必須保持靈活，否則固定連接會導(dǎo)致泵殼受熱后無法膨脹，產(chǎn)生不當(dāng)?shù)牟牧蠎?yīng)力，影響轉(zhuǎn)子自由移動并可能導(dǎo)致軸承故障。

　　4、安全連接高真空法蘭/真空室

　　渦輪分子泵在額定轉(zhuǎn)速下具有較高的扭矩，尤其是在大型泵中，必須安全連接高真空法蘭和真空室，避免因布局不當(dāng)導(dǎo)致真空室變形或泵扭曲。

　　5、碎片保護

　　應(yīng)在渦輪分子泵的高真空法蘭上插入防護罩，以防止墜落碎片損壞轉(zhuǎn)子。這一點對于確保泵的長期穩(wěn)定運行至關(guān)重要。

　　6、烘烤泵

　　烘烤泵時，必須遵守生產(chǎn)商規(guī)定的最大高真空法蘭溫度為120°C的要求，過高溫度會導(dǎo)致泵過熱，損害軸承或轉(zhuǎn)子。

　　7、為渦輪分子泵排氣

　　正確排氣是避免碳氫化合物返流和維護系統(tǒng)純凈的關(guān)鍵步驟。應(yīng)使用干燥氣體如氮氣或無油空氣進行充氣，并在適當(dāng)?shù)乃俣认屡艢狻?/div>