普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀是一種基于質(zhì)譜原理的檢漏儀器，由真空系統(tǒng)、氦氣充填系統(tǒng)、氣體采樣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。檢測(cè)時(shí)，將被測(cè)物體置于真空室內(nèi)，使其內(nèi)部達(dá)到所需真空度后，使用氦氣充填系統(tǒng)向被測(cè)物體外部充填氦氣，并通過(guò)氣體采樣系統(tǒng)將被測(cè)物體周圍環(huán)境中的氦氣吸入系統(tǒng)內(nèi)部。在采集過(guò)程中，加熱系統(tǒng)會(huì)對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行加熱處理，以促進(jìn)任何潛在泄漏點(diǎn)的放大和釋放氦氣。采集到的氦氣進(jìn)入真空室內(nèi)的質(zhì)譜儀中進(jìn)行分析，通過(guò)檢測(cè)氦氣分子的質(zhì)量/電荷比，來(lái)確定被測(cè)物體是否存在泄漏。

　　普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時(shí)的小建議：

　　1、充注檢漏氣體前必須抽空：為了正確試漏，在充注檢漏氣體（如氦氣）前將試件預(yù)抽空是完q必要的，特別是對(duì)于幾何形狀長(zhǎng)和窄的試件尤為重要。如果未抽空直接充注，試件中的空氣可能被擠壓至幾何空間的終端，而檢漏氣體無(wú)法進(jìn)入這個(gè)部位，從而漏檢一些潛在的漏孔。

　　2、切勿在檢漏氣體測(cè)試前使用水槽試漏：檢漏氣體測(cè)試的漏孔通常非常微小或狹長(zhǎng)的毛細(xì)管，如果在檢漏氣體測(cè)試前將漏孔置于水槽中，這些漏孔將被水堵塞或充滿，水分從小孔中驅(qū)逐出來(lái)很困難，從而大大影響檢漏結(jié)果。

　　3、切勿放空或溢出檢漏氣體至試漏區(qū)：試漏中的最小可檢漏率與檢漏氣體的本底濃度關(guān)系很大。高的本底濃度趨于出現(xiàn)高的絕對(duì)波動(dòng)，如果在試漏后將檢漏氣體排放在試漏區(qū)內(nèi)，本底濃度將不斷增高。

　　4、充注檢漏氣體前先檢查大漏：快速測(cè)試是否存在大漏孔，以免從大漏孔中溢出的檢漏氣體污染試漏區(qū)。檢測(cè)大漏孔的方法包括將試件抽真空并觀察是否保持抽空壓強(qiáng)。

　　5、為試漏區(qū)配備足夠的通風(fēng)條件：氦氣如果泄露會(huì)像氣球一樣漂浮到試漏區(qū)的頂部，逐漸填滿整個(gè)區(qū)域。因此，從底部送入新鮮空氣并從頂部排放氣體至室外是非常重要的。

　　6、保證試漏方向與使用中所受壓力方向相同：許多密封件僅在一個(gè)方向有密封作用，如果試漏方向與實(shí)際使用中的壓力方向不同，可能導(dǎo)致漏檢或虛假報(bào)警。

　　7、試漏壓力與運(yùn)行過(guò)程中受到的最大壓力相同：許多密封件在一定的壓力閾值下才會(huì)出現(xiàn)泄漏，如果未在實(shí)際運(yùn)行的最大壓力下試漏，一些小漏孔可能不被發(fā)現(xiàn)。因此，采用較高的測(cè)試壓力可以有效檢測(cè)出實(shí)際運(yùn)行中可能出現(xiàn)的漏孔。