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愛發(fā)科低溫泵株式會社，是由株式會社愛發(fā)科（當(dāng)時名稱日本真空技術(shù)株式會社）與美國BROOKS AUTOMATIONINC.（當(dāng)時名稱Helix Technology Corporation CTI事業(yè)部）共同出資、簽訂技術(shù)合作協(xié)議而成立的合資公司，誕生于1981年，并從茅崎市的愛發(fā)科總部租借場地之后開始正式經(jīng)營。4年之后，即1985年終于在現(xiàn)在的茅崎市矢煙，總部工廠籌建成功，使規(guī)模得以進(jìn)一步擴大

愛發(fā)科真空計（冷陰極電離） 傳感器單元SC1-N SC1-N為冷陰極電離真空計。因為未使用燈絲，所以無需擔(dān)心傳感器的損耗。維修簡單，成本低。另外，構(gòu)造設(shè)計便于維修，運行成本較低。 特長： ? 不需要顯示儀表，可接入PLC顯示。 ? 使用電源DC24V。 ? 維修簡單。 ? 能實現(xiàn)模擬信號輸出和開關(guān)信號（2點）輸出。

愛發(fā)科皮拉尼真空計用途： ? 可用于半導(dǎo)體、電子元件為首的各種制造裝置的低真空領(lǐng)域的過程管理。 ? 可用于真空爐為首的各種產(chǎn)業(yè)機器的低真空領(lǐng)域的過程管理。 ? 可用于連續(xù)性、多樣性工作室的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的過程管理。 ? 可用于光伏、制冷、照明行業(yè)。

YM-RL系列羅茨泵機組是多級羅茨式干泵、羅茨泵、安裝支架、接管、控制箱、消音器等組合而成，用于生產(chǎn)、研究設(shè)備的真空排氣機組。YM-VD / VS系列羅茨泵機組是由油旋片真空泵、羅茨泵、安裝支架、接管、控制箱、油霧過濾器等組合而成，用于生產(chǎn)、研究設(shè)備的真空排氣。

NB系列羅茨真空泵特長：$n 潔凈的真空$n 腔體內(nèi)沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。$n 能在高吸入壓強下運作$n 選用比標(biāo)準(zhǔn)電機容量大一級的電機，即可實現(xiàn)在高吸入壓強下的運作。$n用途$n? 照明、電子、光學(xué)、半導(dǎo)體。$n? 鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入。$n? 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣。$n? 真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐。$n? 分析儀器、檢漏設(shè)備、CO2激光設(shè)備。